Retakan dina udagan sputtering biasana lumangsung dina udagan sputtering keramik kayaning oksida, carbide, nitrides, sarta bahan rapuh kayaning kromium, antimony, bismut.Ayeuna hayu para ahli téknis RSM ngajelaskeun naha retakan target sputtering sareng tindakan pencegahan naon anu tiasa dilaksanakeun pikeun nyingkahan kaayaan ieu.
Sasaran bahan keramik atanapi rapuh salawasna ngandung tekanan anu alami.Ieu stresses internal dihasilkeun dina prosés manufaktur target.Sajaba ti éta, stresses ieu teu sagemblengna ngaleungitkeun ku prosés annealing, sabab ciri alamiah tina bahan ieu.Dina prosés sputtering, bombardment ion gas mindahkeun moméntum maranéhna pikeun atom target, nyadiakeun aranjeunna kalayan énergi cukup pikeun misahkeun aranjeunna tina kisi.Mindahkeun moméntum exothermic ieu ngajadikeun naékna suhu target, nu bisa ngahontal 1000000 ℃ dina tingkat atom.
Guncangan termal ieu ningkatkeun setrés internal anu aya dina udagan ka sababaraha kali.Dina hal ieu, lamun panas teu dissipated leres, udagan bisa megatkeun.Dina raraga nyegah udagan ti cracking, dissipation panas kudu emphasized.Mékanisme penyejukan cai diperyogikeun pikeun ngaleungitkeun énergi panas anu teu dihoyongkeun tina udagan.Masalah anu sanés anu kedah dipertimbangkeun nyaéta kanaékan kakawasaan.Teuing kakuatan dilarapkeun dina waktu anu singget ogé bakal ngabalukarkeun shock termal kana udagan.Sajaba ti éta, urang nyarankeun mengikat target ieu ka backplane, nu teu ukur bisa nyadiakeun rojongan pikeun udagan, tapi ogé ngamajukeun bursa panas hadé antara udagan jeung cai.Upami udagan aya retakan tapi dibeungkeut ku pelat tukang, éta masih tiasa dianggo.
Rich Special Materials Co., Ltd. tiasa nyayogikeun target sputtering sareng backplane.Ieu bisa ngaropéa nurutkeun sarat konsumén ngeunaan bahan, ketebalan sarta tipe beungkeutan.
waktos pos: Sep-21-2022