Anyar-anyar ieu, seueur babaturan naroskeun ngeunaan karakteristik target sputtering molybdenum.Dina industri éléktronik, dina raraga ngaronjatkeun efisiensi sputtering tur mastikeun kualitas film disimpen, naon sarat pikeun ciri target sputtering molybdenum?Ayeuna para ahli teknis ti RSM bakal ngajelaskeun ka urang.
1. Kasucian
Purity tinggi mangrupakeun sarat ciri dasar molybdenum sputtering target.Nu leuwih luhur purity target molybdenum, nu hadé kinerja film sputtered.Sacara umum, purity target sputtering molybdenum kedah sahenteuna 99,95% (fraksi massa, sarua handap).Sanajan kitu, ku pamutahiran kontinyu tina ukuran substrat kaca dina industri LCD, panjang wiring nu diperlukeun pikeun diperpanjang jeung linewidth nu diperlukeun janten thinner.Pikeun mastikeun kaseragaman pilem sareng kualitas kabel, kamurnian target sputtering molybdenum ogé diperyogikeun pikeun ningkat sasuai.Ku alatan éta, nurutkeun ukuran substrat kaca sputtered jeung lingkungan pamakéan, purity of molybdenum sputtering target anu diperlukeun janten 99,99% - 99,999% atawa malah leuwih luhur.
Target sputtering molybdenum dipaké salaku sumber katoda dina sputtering.Kotoran dina padet sareng oksigén sareng uap cai dina pori mangrupikeun sumber polusi utama pilem anu disimpen.Sajaba ti éta, dina industri éléktronik, sabab ion logam alkali (Na, K) gampang jadi ion mobile dina lapisan insulasi, kinerja alat aslina diréduksi;Unsur-unsur sapertos uranium (U) sareng titanium (TI) bakal dileupaskeun α-X-ray, nyababkeun ngarecahna lemes tina alat;Beusi jeung nikel ion bakal ngabalukarkeun leakage interface jeung nambahanana unsur oksigén.Ku alatan éta, dina prosés persiapan molybdenum sputtering udagan, elemen impurity ieu kudu mastikeun dikawasa pikeun ngaleutikan eusi maranéhanana dina udagan.
2. Ukuran sisikian jeung distribusi ukuran
Sacara umum, target sputtering molybdenum nyaéta struktur polycrystalline, sareng ukuran sisikian tiasa dibasajankeun mikron dugi ka milimeter.Hasil ékspérimén nunjukkeun yén laju sputtering udagan gandum halus langkung gancang tibatan udagan gandum kasar;Pikeun udagan kalayan bédana ukuran sisikian leutik, sebaran ketebalan pilem disimpen ogé leuwih seragam.
3. orientasi kristal
Kusabab atom udagan téh gampang jadi preferentially sputtered sapanjang arah susunan pangdeukeutna atom dina arah héksagonal salila sputtering, guna ngahontal laju sputtering pangluhurna, laju sputtering mindeng ngaronjat ku cara ngarobah struktur kristal udagan.Arah kristal tina udagan ogé boga pangaruh hébat kana uniformity ketebalan tina pilem sputtered.Ku alatan éta, penting pisan pikeun ménta struktur target berorientasi kristal tangtu pikeun prosés sputtering film.
4. Densifikasi
Dina prosés sputtering coating, nalika udagan sputtering kalawan dénsitas low ieu bombarded, gas aya dina pori internal udagan ieu dumadakan dileupaskeun, hasilna splashing partikel target ukuran badag atawa partikel, atawa bahan pilem ieu bombarded. ku éléktron sékundér sanggeus formasi film, hasilna partikel splashing.Penampilan partikel ieu bakal ngurangan kualitas pilem.Dina raraga ngurangan pori dina udagan solid sarta ngaronjatkeun kinerja pilem, udagan sputtering umumna diperlukeun pikeun mibanda kapadetan tinggi.Pikeun target sputtering molybdenum, dénsitas relatif na kedah langkung ti 98%.
5. Beungkeutan target na chassis
Sacara umum, target sputtering molybdenum kudu disambungkeun jeung oksigén bébas tambaga (atawa aluminium sarta bahan séjén) chassis saméméh sputtering, ku kituna konduktivitas termal tina target na chassis anu alus salila prosés sputtering.Saatos ngariung, pamariksaan ultrasonik kedah dilakukeun pikeun mastikeun yén daérah non-beungkeutan dua kirang ti 2%, ku kituna nyumponan sarat sputtering kakuatan tinggi tanpa ragrag.
waktos pos: Jul-19-2022