Tujuan beberesih target nyaéta pikeun ngaleungitkeun kamungkinan lebu atanapi kokotor dina permukaan udagan.Ayeuna, redaktur Rich Special Material Co., LTD.(RSM) bakal ngabagikeun ka anjeun ngeunaan opat léngkah pikeun ngabersihan target logam:
Hambalan munggaran nyaéta pikeun ngabersihan ku lawon lemes bébas lint soaked dina acetone;
Lengkah kadua sarupa jeung lengkah kahiji, meresihan alkohol;
Hambalan 3: beresih jeung cai deionized.Sanggeus dikumbah ku cai deionisasi, udagan disimpen dina oven jeung garing dina 100 ℃ salila 30 menit.Sasaran oksida sareng keramik kedah dibersihkeun ku "lawon bébas lint".
Léngkah kaopat nyaéta ngumbah udagan nganggo argon kalayan tekanan tinggi sareng gas cai rendah pikeun ngaleungitkeun sadaya partikel najis anu tiasa ngabentuk busur dina sistem sputtering.
Catetan: nalika nanganan udagan, mangga nganggo sarung tangan pangropéa anu bersih sareng lint pikeun nyegah kontak langsung sareng udagan ku leungeun.
waktos pos: Jun-24-2022