Urang kedah terang pisan kana target ayeuna, ayeuna target pasar ogé ningkat, ieu di handap ieu naon kinerja utama target sputtering anu dibagi ku redaktur ti RSM
Kamurnian
Purity bahan target mangrupakeun salah sahiji indéks kinerja utama, sabab purity bahan target boga pangaruh hébat kana kinerja film ipis.Nanging, dina aplikasi praktis, syarat kamurnian bahan target henteu sami.Salaku conto, kalayan gancangna industri microelectronics, ukuran chip silikon parantos dikembangkeun tina 6 ", 8" dugi ka 12", sareng lebar kabel parantos dikirangan tina 0.5um ka 0.25um, 0.18um atanapi bahkan 0.13um.Saméméhna, purity tina 99.995% bahan target bisa minuhan sarat prosés 0.35umIC.The purity tina bahan target nyaeta 99.999% atawa malah 99.9999% keur persiapan garis 0.18um.
eusi najis
Kotoran dina padet udagan sareng oksigén sareng uap cai dina pori-pori mangrupikeun sumber polusi utama déposisi pilem.Bahan sasaran pikeun tujuan anu béda gaduh syarat anu béda pikeun eusi najis anu béda.Salaku conto, target alumunium murni sareng alumunium anu dianggo dina industri semikonduktor ngagaduhan syarat khusus pikeun eusi logam alkali sareng unsur radioaktif.
Kapadetan
Dina raraga ngurangan porosity dina udagan solid sarta ngaronjatkeun kinerja pilem sputtering, dénsitas luhur udagan biasana diperlukeun.Kapadetan udagan mangaruhan henteu ngan ukur laju sputtering tapi ogé sipat listrik sareng optik pilem.Nu leuwih luhur dénsitas target, nu hadé kinerja pilem.Sajaba ti éta, ngaronjatna kapadetan jeung kakuatan udagan ngajadikeun udagan hadé tahan stress termal dina prosés sputtering.Kapadetan ogé salah sahiji indéks kinerja konci target.
Ukuran sisikian jeung distribusi ukuran sisikian
Sasaran biasana polikristalin kalayan ukuran gandum mimitian ti mikrométer dugi ka milimeter.Pikeun udagan anu sami, laju sputtering udagan anu bijil leutik langkung gancang tibatan udagan anu bijil ageung.Distribusi ketebalan tina film disimpen ku sputtering target kalawan béda ukuran sisikian leutik (distribusi seragam) leuwih seragam.
waktos pos: Aug-04-2022