Seueur rerencangan ngeunaan pangropéa udagan aya anu kirang langkung patarosan, nembe seueur ogé para nasabah konsultasi ngeunaan pangropéa masalah anu aya hubunganana, hayu redaktur RSM pikeun urang bagikeun ngeunaan sputtering pangaweruh pangropéa target.
Kumaha kedah ngajaga target sputter?
1. Target pangropéa
Dina raraga nyingkahan sirkuit pondok tur arcing disababkeun ku rongga najis dina prosés sputtering, perlu périodik nyabut sputters akumulasi di tengah jeung kadua sisi lagu sputtering, nu ogé mantuan pamaké pikeun terus sputter dina kapadetan kakuatan tinggi.
2. Target gudang
Kami ngarékoméndasikeun yén pamaké nyimpen udagan (naha logam atawa keramik) dina bungkusan vakum, utamana udagan pas kudu disimpen dina vakum pikeun nyegah oksidasi lapisan pas ti mangaruhan kualitas pas.Sedengkeun pikeun bungkusan tina target logam, urang nyarankeun yén maranéhna kudu dibungkus dina kantong plastik bersih sahenteuna.
3. Tujuan beberesih
Hambalan munggaran nyaéta pikeun ngabersihan ku lawon lemes bébas lint soaked dina acetone;
Lengkah kadua sarupa jeung lengkah kahiji, meresihan alkohol;
Hambalan 3: beresih jeung cai deionized.Sanggeus beberesih ku cai deionized, target disimpen dina oven jeung garing dina 100 ℃ salila 30 menit.Disarankeun ngagunakeun "lawon bébas lint" pikeun ngabersihan sasaran oksida sareng keramik.
Léngkah kaopat nyaéta ngumbah udagan nganggo argon kalayan tekanan anu luhur sareng kalembaban anu rendah pikeun ngaleungitkeun partikel najis anu tiasa nyababkeun busur dina sistem sputtering.
4. Cék sirkuit pondok sareng kencang
Saatos udagan dipasang, sadayana katoda kedah dipariksa pikeun sirkuit pondok sareng ketat.Disarankeun pikeun nangtoskeun naha aya sirkuit pondok dina katoda nganggo méteran résistansi sareng megger.Saatos ngonfirmasi yén teu aya sirkuit pondok dina katoda, pamariksaan bocor cai tiasa dilaksanakeun, sareng cai tiasa diwanohkeun kana katoda pikeun nangtukeun naha aya bocor cai.
5. Bungkusan sareng transportasi
Sadaya udagan dibungkus dina kantong plastik anu disegel vakum sareng agén tahan-lembab.Bungkusan luar umumna kotak kayu kalayan lapisan anti tabrakan di sabudeureun pikeun nangtayungan target sareng backplane tina karusakan nalika transportasi sareng neundeun.
waktos pos: Jul-15-2022