Targetna ngagaduhan pasar anu lega, daérah aplikasi sareng pamekaran ageung di hareup.Pikeun ngabantosan anjeun langkung ngartos kana fungsi target, di dieu di handap insinyur RSM bakal ngenalkeun sakeudeung syarat fungsional utama target.
Purity: purity mangrupa salah sahiji indikator fungsi utama udagan, sabab purity udagan boga dampak hébat kana fungsi pilem.Nanging, dina aplikasi praktis, syarat kamurnian udagan ogé béda.Salaku conto, kalayan gancangna industri microelectronics, ukuran wafer silikon dilegaan tina 6 "ka 8" dugi ka 12 ", sareng lebar kabel diréduksi tina 0.5um ka 0.25um, 0.18um atanapi bahkan 0.13um.Saméméhna, 99.995% tina purity target bisa minuhan sarat prosés 0.35umic, bari persiapan garis 0.18um merlukeun 99.999% atawa malah 99.9999% tina purity target.
Eusi najis: pangotor dina padet udagan sareng oksigén sareng uap cai dina pori mangrupikeun sumber polusi utama pilem anu disimpen.Sasaran pikeun tujuan anu béda gaduh syarat anu béda pikeun eusi najis anu béda.Salaku conto, target alumunium murni sareng alumunium anu dianggo dina industri semikonduktor ngagaduhan syarat khusus pikeun eusi logam alkali sareng eusi unsur radioaktif.
Kapadetan: dina raraga ngurangan pori dina udagan solid sarta ngaronjatkeun fungsi sputtering pilem, udagan biasana diperlukeun pikeun mibanda kapadetan tinggi.Kapadetan udagan henteu ngan ukur mangaruhan laju sputtering, tapi ogé mangaruhan fungsi listrik sareng optik pilem.Nu leuwih luhur dénsitas target, nu hadé fungsi pilem.Salaku tambahan, kapadetan sareng kakuatan udagan ningkat ku kituna udagan tiasa langkung saé nampi setrés termal dina prosés sputtering.Kapadetan ogé salah sahiji indikator fungsional konci udagan.
waktos pos: May-20-2022